Número do Padrão: SJ/T 10627-1995(SJ/T10627-1995)
Chinês:通过测量间隙氧含量的减少表征硅片氧沉淀特性的方法
Português:Caracterização das propriedades de deposição de oxigénio em bolachas através da medição da redução do teor de oxigénio intersticial
Data de Vigência:1995-10-01
Âmbito padrão:
Descarregável em PDF: N
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