Número do Padrão: YS/T 15-2015(YS/T15-2015)
Chinês:硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
Português:Determinação da espessura de camadas epitaxiais e de difusão de silício pelo método de coloração por ângulo de retificação
Data de Vigência:2015-10-01
Âmbito padrão:Esta norma aplica-se à camada epitaxial e à camada de difusão e o tipo de substrato condutor é diferente ou duas camadas de diferença de resistividade de pelo menos uma ordem de magnitude de resistividade arbitrária da camada epitaxial de silício e medição da espessura da camada de difusão, a faixa de medição: 1μm ~ 100μm.
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