Número do Padrão: YS/T 1060-2015(YS/T1060-2015)
Chinês:硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
Português:Determinação de outros clorosilanos em triclorohidrosilano de silício epitaxial Cromatografia em fase gasosa
Data de Vigência:2015-10-01
Âmbito padrão:Esta norma aplica-se à determinação do teor de outros clorossilanos (incluindo diclorodihidrosilício e tetracloreto de silício) no triclorohidrosilício para epitaxia de silício. O limite inferior de determinação é de 0,002%.
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