Número do Padrão: YS/T 1059-2015(YS/T1059-2015)
Chinês:硅外延用三氯氢硅中总碳的测定 气相色谱法
Português:Determinação do carbono total no silício epitaxi-triclorohidrosilício por cromatografia gasosa
Data de Vigência:2015-10-01
Âmbito padrão:Esta norma aplica-se à determinação do teor total de carbono no triclorohidrosilício epitaxial de silício, o intervalo de determinação é de 0,00005% ~ 0,005%.
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