Número do Padrão: YS/T 1024-2015(YS/T1024-2015)
Chinês:溅射用钽靶材
Português:Alvos de tântalo para pulverização catódica
Data de Vigência:2015-10-01
Âmbito padrão:Esta norma aplica-se aos alvos de tântalo para pulverização catódica (a seguir designados por alvos de tântalo) fabricados a partir de lingotes de tântalo de elevada pureza fundidos num feixe de electrões de vácuo e fabricados por processamento plástico, tratamento térmico, maquinagem, soldadura e outros métodos.
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