Número do Padrão: GB/T 40279-2021
Chinês:硅片表面薄膜厚度的测试 光学反射法
Português:Método de ensaio da espessura de películas na superfície de bolachas de silício – Método de reflexão ótica
Data de Vigência:2022-03-01
Autoridade Reguladora:Administração Nacional de Normalização da China
Autoridade Reguladora Emissora:Administração Estatal de Supervisão e Administração do Mercado,中国Administração Nacional de Normalização da China
Cumpre com normas internacionais:N
Descarregável em PDF:Y
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