GB/T 32816-2016 Tecnologia de fabrico de MEMS à base de silício – Especificação para o critério da combinação do processo de gravação profunda e de ligação

Número do Padrão: GB/T 32816-2016
Chinês:硅基MEMS制造技术 以深刻蚀与键合为核心的工艺集成规范
Português:Tecnologia de fabrico de MEMS à base de silício – Especificação para o critério da combinação do processo de gravação profunda e de ligação

Data de Vigência:2017-03-01
Autoridade Reguladora:Administração Nacional de Normalização da China
Autoridade Reguladora Emissora:Administração Geral de Supervisão da Qualidade, Inspeção e Quarentena da República Popular da China,中国Administração Nacional de Normalização da China

Cumpre com normas internacionais:N
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