Número do Padrão: GB/T 29056-2012
Chinês:硅外延用三氯氢硅化学分析方法 硼、铝、磷、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、钼、砷和锑量的测定 电感耦合等离子体质谱法
Português:Triclorosilano para epitaxia de silício – Determinação do teor de boron，aluminium，phosphorus，vanadium，chrome，manganese，iron，cobalt，nickel，copper，molybdenum，arsenic e antimónio – Método de espetrometria de massa com plasma indutivamente acoplado
Data de Vigência:2013-10-01
Autoridade Reguladora:Administração Nacional de Normalização da China
Autoridade Reguladora Emissora:Administração Geral de Supervisão da Qualidade, Inspeção e Quarentena da República Popular da China,中国Administração Nacional de Normalização da China
Cumpre com normas internacionais:N
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