Número do Padrão: GB/T 19922-2005
Chinês:硅片局部平整度非接触式标准测试方法
Português:Métodos de ensaio normalizados para a medição da planicidade em bolachas de silício por varrimento sem contacto
Data de Vigência:2006-04-01
Autoridade Reguladora:Ministério da Indústria e das Tecnologias da Informação(电子)
Autoridade Reguladora Emissora:Administração Geral de Supervisão da Qualidade, Inspeção e Quarentena da República Popular da China,中国Administração Nacional de Normalização da China
Cumpre com normas internacionais:N
Descarregável em PDF:Y
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