GB/T 16878-1997 Especificação para células de padrão metrológico para fabrico de circuitos integrados

Número do Padrão: GB/T 16878-1997
Chinês:用于集成电路制造技术的检测图形单元规范
Português:Especificação para células de padrão metrológico para fabrico de circuitos integrados

Data de Vigência:1998-03-01
Autoridade Reguladora:Administração Nacional de Normalização da China
Autoridade Reguladora Emissora:Gabinete Estatal de Supervisão Técnica

Cumpre com normas internacionais:Y
Descarregável em PDF:N

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